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3月份美國 3M 公司停止運(yùn)營其位于比利時的 PFAS（全氟 / 多氟烷基化合物）制冷劑工廠，一度引發(fā)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)界關(guān)注，因 PFAS 在光刻、刻蝕工藝中有重要應(yīng)用。 日經(jīng)新聞日前刊文指出，這一事件只是歐美環(huán)保新規(guī)影響的開端，由于歐洲國家試圖在2025年全面限制 PFAS 的制造、使用和出口，業(yè)界擔(dān)心由于替代產(chǎn)品導(dǎo)入存在不確定性，此舉將導(dǎo)致相關(guān)半導(dǎo)體材料的長期短缺。