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國產(chǎn)5nm蝕刻機(jī)下半年交付臺積電美國工廠? 中關(guān)村在線     2022-08-03 13:41    

近日有消息稱,中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司制造的5nm蝕刻機(jī)將于今年下半年交付臺積電美國工廠,這可以說是國產(chǎn)蝕刻機(jī)的一大突破。

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