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據(jù)臺(tái)媒《經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)》報(bào)道，默克公司今（8）日宣布與美光科技合作開發(fā)用于半導(dǎo)體工藝、能降低全球變暖趨勢的氣體解決方案。 默克表示，經(jīng)過一年的持續(xù)合作，美光科技目前正在測試默克研發(fā)部門提供的低GWP替代性蝕刻氣體，以驗(yàn)證其制程性能，從而取代傳統(tǒng)的高GWP材料，目標(biāo)在半導(dǎo)體制程中導(dǎo)入全新且更具可持續(xù)性的氣體解決方案。兩家公司皆致力于發(fā)掘有助實(shí)現(xiàn)永續(xù)發(fā)展目標(biāo)的新穎材料，以取代現(xiàn)行應(yīng)用于干蝕刻與光罩清洗制程的多種高暖化潛勢的蝕刻氣體。
