備注：參數(shù)為大概參數(shù)，如需詳談?wù)堉码姳竟尽?

潔凈室廠房驗(yàn)證所依從的標(biāo)準(zhǔn)和指導(dǎo)方針

ISO 14644-1

ISO 14644-3

DIN EN 12599

IEST 環(huán)境科學(xué)與技術(shù)學(xué)會(huì)

NEBB（1996）美國(guó)環(huán)境平衡署

潔凈室驗(yàn)證的標(biāo)準(zhǔn)

ISO Standard 14644

ISO 14644是國(guó)際通用的有關(guān)潔凈室及其相關(guān)受控環(huán)境的標(biāo)準(zhǔn)

IQ：安裝確認(rèn)

OQ：性能確認(rèn)

潔凈室Clean Rooms

標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)試項(xiàng)目 可選的測(cè)試項(xiàng)目

風(fēng)速以及風(fēng)速分布 氣密泄漏測(cè)試

過(guò)濾器風(fēng)速

氣流可視化流型測(cè)試

空調(diào)機(jī)組風(fēng)速

自?xún)魰r(shí)間測(cè)試

壓差測(cè)試

生物測(cè)試（空氣微生物/表面微生物）

過(guò)濾器檢漏

塵埃粒子

潔凈室氣密性

溫濕度驗(yàn)證

   

培養(yǎng)箱，凍干機(jī)，凍箱，柜

溫度，濕度，CO2校正

重復(fù)性驗(yàn)證

負(fù)載測(cè)試

短期/長(zhǎng)期監(jiān)測(cè)

照度測(cè)試

PQ：運(yùn)行確認(rèn)

 數(shù)據(jù)分析確認(rèn)

 NIST工廠追溯性材料和設(shè)備

 系統(tǒng)性能確認(rèn)

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崔女士

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