坐標(biāo)測(cè)量機(jī)(Coordinate Measuring Machine,簡(jiǎn)稱CMM)是有代表性的坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器。早的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是一個(gè)僅僅配備XYZ三軸數(shù)顯的三維設(shè)備。對(duì)于誰(shuí)發(fā)明坐標(biāo)測(cè)量機(jī)一直存在爭(zhēng)議。1950年代末,臺(tái)坐標(biāo)測(cè)量設(shè)備可能是由意大利DEA(Digital Electronic Automation Spa)公司發(fā)明的門(mén)式結(jié)構(gòu)并配置剛性測(cè)頭的測(cè)量機(jī)。幾個(gè)月后,蘇格蘭的Ferranti Metrology(現(xiàn)在的IMS )發(fā)明了懸臂測(cè)量機(jī),配置數(shù)顯設(shè)備和剛性測(cè)頭。1959年,F(xiàn)erranti發(fā)明了臺(tái)真正意義上的DCC(Direct Computer Assist) 坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。這臺(tái)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的發(fā)明可以標(biāo)志著坐標(biāo)測(cè)量機(jī)正式走上歷史舞臺(tái)。同樣來(lái)自英國(guó)的LK Tool公司隨后發(fā)明了臺(tái)橋式坐標(biāo)測(cè)量機(jī),并在過(guò)去的數(shù)年中成為坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的標(biāo)準(zhǔn)構(gòu)架。隨著越來(lái)越多制造商的加入并對(duì)測(cè)量機(jī)進(jìn)行改造,懸臂測(cè)量機(jī)、橋式測(cè)量機(jī)、龍門(mén)測(cè)量機(jī)、水平臂測(cè)量機(jī)、門(mén)式測(cè)量機(jī)、活動(dòng)平臺(tái)測(cè)量機(jī)、固定橋式測(cè)量機(jī)和關(guān)節(jié)臂測(cè)量機(jī)都成為坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的通用構(gòu)架。
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