美國(guó)API激光干涉儀XD Laser儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。其中6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測(cè)器識(shí)別后進(jìn)行電子記數(shù)，記錄長(zhǎng)度位移。第二束光用作直線度測(cè)量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對(duì)位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級(jí)管測(cè)得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測(cè)角儀的參考光源，用來測(cè)量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測(cè)量?jī)x在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮，以使測(cè)量?jī)x的橫向和角度漂移量都降低，從而保證測(cè)量?jī)x的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。測(cè)量?jī)x配有自動(dòng)氣壓、環(huán)境溫度補(bǔ)償器，自動(dòng)校正環(huán)境變化對(duì)激光波長(zhǎng)及長(zhǎng)度測(cè)量的影響，測(cè)量?jī)x還配有專門設(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器，使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測(cè)量誤差降到小。

美國(guó)API激光干涉儀XD Laser的技術(shù)參數(shù)：

1．1D激光主要可以測(cè)量定位誤差

2．3D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）

3．5D/6D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角

4．5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型技術(shù)參數(shù)：

1)線性：0.5ppm .

2)測(cè)量范圍：40米（1D可選80米）

3)線性分辨力：0.001um.

4)偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值

5)范圍：800角秒

6)滾動(dòng)角精度：1.0角秒

7)直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值

8)直線度范圍：500um

9)垂直度精度：1角秒

10)溫度精度：0.2攝氏度

11)濕度精度：5%

12)壓力精度：1mmHg

美國(guó)API激光干涉儀XD Laser的特點(diǎn)：

1．同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角

2．設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器

3．可選的無線遙控傳感器長(zhǎng)控制可到25米

4．可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。

5．全套系統(tǒng)重量?jī)H15公斤，設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架

6．集成干涉鏡與激光器于一體