西門子法是由德國(guó)Siemens公司發(fā)明并于1954年申請(qǐng)了專利1965年左右實(shí)現(xiàn)了工業(yè)化。經(jīng)過幾十年的應(yīng)用和展，西門子法不斷完善，先后出現(xiàn)了代、第二代和第三代，第三代多晶硅生產(chǎn)工藝即改良西門子法，它在第二代的基礎(chǔ)上增加了還原尾氣干法回收系統(tǒng)、SiCl4回收氫化工藝，實(shí)現(xiàn)了完全閉環(huán)生產(chǎn)，是西門子法生產(chǎn)高純多晶硅技術(shù)的技術(shù)，其具體工藝流程如圖1所示。硅在西門子法多晶硅生產(chǎn)流程內(nèi)部的循環(huán)利用。