集成電路(IC)芯片在封裝工序之后,必須要經(jīng)過嚴(yán)格地檢測(cè)才能保證產(chǎn)品的質(zhì)量,芯片外觀檢測(cè)是一項(xiàng)必不可少的重要環(huán)節(jié),它直接影響到 IC 產(chǎn)品的質(zhì)量及后續(xù)生產(chǎn)環(huán)節(jié)的順利進(jìn)行。外觀檢測(cè)的方法有三種:一是傳統(tǒng)的手工檢測(cè)方法,主要靠目測(cè),手工分檢,可靠性不高,檢測(cè)效率較低,勞動(dòng)強(qiáng)度大,檢測(cè)缺陷有疏漏,無法適應(yīng)大批量生產(chǎn)制造;二是基于激光測(cè)量技術(shù)的檢測(cè)方法,該方法對(duì)設(shè)備的硬件要求較高,成本相應(yīng)較高,設(shè)備故障率高,維護(hù)較為困難;三是基于機(jī)器視覺的檢測(cè)方法,這種方法由于檢測(cè)系統(tǒng)硬件易于集成和實(shí)現(xiàn)、檢測(cè)速度快、檢測(cè)精度高,而且使用維護(hù)較為簡便,因此,在芯片外觀檢測(cè)領(lǐng)域的應(yīng)用也越來越普遍,是 IC 芯片外觀檢測(cè)的一種發(fā)展趨勢(shì)。
通常集成電路芯片故障檢測(cè)必需的模塊有三個(gè):源激勵(lì)模塊,觀測(cè)信息采集模塊和檢測(cè)模塊。源激勵(lì)模塊用于將測(cè)試向量輸送給集成電路芯片,以驅(qū)使芯片進(jìn)入各種工作模式。故,通常希望測(cè)試向量集能盡量多得包含所有可能的輸入向量。觀測(cè)信息采集模塊負(fù)責(zé)對(duì)之后用于分析和處理的信息進(jìn)行采集。觀測(cè)信息的選取對(duì)于故障檢測(cè)至關(guān)重要,它應(yīng)當(dāng)盡量多的包含故障特征信息且容易采集。檢測(cè)模塊負(fù)責(zé)分析處理采集到的觀測(cè)信息,將隱藏在觀測(cè)信息中的故障特征識(shí)別出來,以診斷出電路故障的模式。
集成電路(integrated circuit)是一種微型電子器件或部件。采用一定的工藝,把一個(gè)電路中所需的晶體管、電阻、電容和電感等元件及布線互連一起,制作在一小塊或幾小塊半導(dǎo)體晶片或介質(zhì)基片上,然后封裝在一個(gè)管殼內(nèi),成為具有所需電路功能的微型結(jié)構(gòu);其中所有元件在結(jié)構(gòu)上已組成一個(gè)整體,使電子元件向著微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面邁進(jìn)了一大步。它在電路中用字母“IC”表示。集成電路發(fā)明者為杰克·基爾比(基于鍺(Ge)的集成電路)和羅伯特·諾伊思(基于硅(Si)的集成電路)。當(dāng)今半導(dǎo)體工業(yè)大多數(shù)應(yīng)用的是基于硅的集成電路。
集成電路或稱微電路(microcircuit)、 微芯片(microchip)、芯片(chip)在電子學(xué)中是一種把電路(主要包括半導(dǎo)體裝置,也包括被動(dòng)元件等)小型化的方式,并通常制造在半導(dǎo)體晶圓表面上。
前述將電路制造在半導(dǎo)體芯片表面上的集成電路又稱薄膜(thin-film)集成電路。另有一種厚膜(thick-film)混成集成電路(hybrid integrated circuit)是由獨(dú)立半導(dǎo)體設(shè)備和被動(dòng)元件,集成到襯底或線路板所構(gòu)成的小型化電路。