潔凈技術(shù)，即玷污控制(Contamination Control)技術(shù)。指的是：對象(產(chǎn)品、人及動物)在被加工、處置、、防護(hù)及實(shí)驗(yàn)等過程中，對其所處環(huán)境內(nèi)玷污物(影響對象的加工、處置、等質(zhì)量、合格率或成功率的物質(zhì))進(jìn)行控制的技術(shù)。 玷污物的污染包含對產(chǎn)品的損害和對人的危害。 污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。 人是污染源的發(fā)源地：靜坐時(shí)，人體每分鐘散發(fā)10萬個(gè)粒子(?！?.5μm); 每天脫落6～13克表皮細(xì)胞，一年脫落人體細(xì)胞約3.5公斤。 半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)微污染來源，經(jīng)測試，作業(yè)人員占80% 。

凈化車間竣工驗(yàn)收相關(guān)文件：主要材料、設(shè)備和調(diào)節(jié)裝置、自動控制系統(tǒng)等出廠合格證書或檢驗(yàn)文件；各項(xiàng)工程質(zhì)量檢驗(yàn)評定表；凈化車間設(shè)計(jì)文件、設(shè)計(jì)變更說明及有關(guān)協(xié)議、竣工圖；凈化車間里面各種設(shè)備性能指標(biāo)記錄；開工、竣工報(bào)告、土建隱蔽工程系統(tǒng)、管線隱蔽工程系統(tǒng)封閉記錄、管道系統(tǒng)吹洗記錄、設(shè)備開箱記錄、管道壓力試驗(yàn)記錄、風(fēng)管檢漏記錄、中間驗(yàn)收單和竣工驗(yàn)收單。

吸附性過濾—活性炭活性炭是一種多孔性的含炭物質(zhì), 它具有高度發(fā)達(dá)的孔隙構(gòu)造, 活性炭的多孔結(jié)構(gòu)為其提供了大量的表面積，能與氣體（雜質(zhì)）充分接觸，從而賦予了活性炭所特有的吸附性能，使其非常容易達(dá)到吸收收集雜質(zhì)的目的。就象磁力一樣，所有的分子之間都具有相互引力。

凈化參數(shù) 換氣次數(shù)：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季>16℃；