微小氣體流量計(jì)選型，西安儀表生產(chǎn)廠家4000系列

型號(hào)：mf4003 mf4008 mf4001

MF4000系列小流量氣體質(zhì)量流量計(jì)是基于矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限

公司自主研制MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動(dòng)氣體傳熱傳質(zhì)

的依存關(guān)系，在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得到氣體的質(zhì)量流量。

該流量計(jì)同時(shí)實(shí)現(xiàn)熱源的產(chǎn)生與溫度的測(cè)量。當(dāng)芯片處于工作

狀態(tài)時(shí)，在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場(chǎng)分布。一旦一定質(zhì)量的

氣體流過(guò)傳感器時(shí)，氣體的流動(dòng)將破壞該溫度場(chǎng)的分布，形成特定

的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場(chǎng)分布。微機(jī)電系統(tǒng)流量計(jì)

芯片上的傳感器將測(cè)量這一變化并把這一變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，由一

個(gè)專門(mén)的電路變送器對(duì)此信號(hào)進(jìn)行放大、調(diào)理并作線性化處理。由

于不同質(zhì)量的氣體對(duì)傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場(chǎng)分布所產(chǎn)生的

擾動(dòng)不同，因而能測(cè)量氣體的質(zhì)量流量或總流量。