硅片的化學(xué)機(jī)械拋光過程是以化學(xué)反應(yīng)為主的機(jī)械拋光過程，要獲得質(zhì)量好的拋光片，必須使拋光過程中的化學(xué)腐蝕作用與機(jī)械磨削作用達(dá)到一種平衡。如果化學(xué)腐蝕作用大于機(jī)械拋光作用，則拋光片表面產(chǎn)生腐蝕坑、桔皮狀波紋。如果機(jī)械磨削作用大于化學(xué)腐蝕作用，則表面產(chǎn)生高損傷層。

拋光液的主要產(chǎn)品可以按主要成分的不同分為以下幾大類：金剛石拋光液（多晶金剛石拋光液、單晶金剛石拋光液和納米金剛石拋光液）、氧化硅拋光液（即CMP拋光液）、氧化鈰拋光液、氧化鋁拋光液和碳化硅拋光液等幾類。

氧化鋁和碳化硅拋光液 是以超細(xì)氧化鋁和碳化硅微粉為磨料的拋光液，主要成分是微米或亞微米級(jí)的磨料。 主要用于高精密光學(xué)儀器、硬盤基板、磁頭、陶瓷、光纖連接器等方面的研磨和拋光。

封釉，指用柔軟的羊毛或海綿通過震拋機(jī)的高速震動(dòng)和摩擦，利用釉特有的滲透性和黏附性把釉分子強(qiáng)力滲透到汽車表面、油漆的縫隙中去。 封釉是將高分子釉震入到漆面的毛孔中，形成一種牢固的網(wǎng)狀保護(hù)層，附在車漆的表面，提高原車漆面的光澤度、硬度，使車漆能更好地抵擋外界環(huán)境的侵襲，有效減少劃痕，保持車漆亮度， 從而達(dá)到保護(hù)漆面的目的。