凈化車間主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為凈化車間。按照慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,凈化車間無塵是必然的要求。
凈化車間每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了無塵標準的A級。目前凈化車間應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
為了保持凈化車間內(nèi)的潔凈度,控制人員人數(shù)是必要的。在考慮靜電前提下,對人員服飾等也有嚴格管理方式。
1.凈化工程潔凈服上身和下身宜分離,穿著時要求,上衣必須放在下身里。
2.穿著的布料要求防靜電,潔凈室內(nèi)相對濕度較低。防靜電衣料可以將微粒子附著率降到90%。
3.根據(jù)企業(yè)自身需要,潔凈等級高的潔凈室會用到披肩帽,其下擺應放在上衣之內(nèi)。
4.有些手套會有滑石粉,進入室內(nèi)前必須將滑石粉去除。
5.新買的潔凈服一定要先清洗之后再穿,有條件的*用無塵水洗滌。
6.為了保證凈化工程凈化效果,1-2個星期必須清洗一次潔凈服,整個過程要在潔凈區(qū)進行,避免依附微粒子。
無塵凈化車間由于安裝時需注意由于車間內(nèi)沒有設管道豎井及技術加到,主干管均為明管,配管時一定要考慮其美觀、盡量靠墻布置。支管在技術夾層內(nèi),而通風管、電纜橋架、給排水管、工藝管道共用技術夾層。在施工中一定要注意協(xié)調(diào)好各自工種相互間的關系,確定施工順序,做到互不干擾,確保管道安裝的標高、坡度、便于今后維修的原則。
無塵凈化車間管道先按施工圖配到各工段房間實用點的技術夾層傷,待設備全部進場到位,確然安裝無誤后,方可進行二次配管,配管錢必須認真復核設備接口方位、規(guī)格、尺寸,采取先預制后安裝方法進行,盡量減少潔凈室內(nèi)的管道、管件、閥門和支架的數(shù)量。管道穿過潔凈室頂棚,樓板處應設套管,管道與套管之間必須有可靠的密封措施,并且要牢靠的固定管道措施。進入潔凈室內(nèi)的明管材料均宜采用不銹鋼管,安裝時應避免死角和盲管。
無塵凈化車間管道安裝應力求布局合理、排列整齊、便于檢修,控制閥安裝便于操作潔凈區(qū)內(nèi)的明裝管道,其表面要進行拋光處理,并用不銹鋼管支座支撐,使其美觀。閥門不能使用法蘭閥門,應采用死扣閥門,以便不積塵、易清洗.核心技術,如實陳述.
無塵車間凈化分為生物潔凈室和非生物潔凈室兩種。生物潔凈室空氣凈化系統(tǒng)必須連續(xù)運轉(zhuǎn);非生物潔凈室使用前空氣凈化系統(tǒng)應提前4小時開啟。檢測塵埃粒子用塵埃粒子計數(shù)器,在環(huán)境衛(wèi)生清潔后緩沖0.5~1小時之后進行,為避免人為造成的污染,靜態(tài)測試時潔凈室內(nèi)兩人。注射劑的生產(chǎn)過程中應對關鍵控制點進行動態(tài)監(jiān)控。
微生物含量的控制。控制潔凈室環(huán)境中的微生物含量仍然是靠良好的空氣凈化系統(tǒng)設施,其過濾效率可以達到99.9%~99.99%地濾除空氣中的和塵埃。生產(chǎn)中潔凈室內(nèi)溫度嚴格控制在18~26℃、相對濕度控制在45%~65%,以破壞有利于的生長條件,加之液的清潔,環(huán)境控制效果令人滿意。關于日常液,每天生產(chǎn)結(jié)束后,用75%乙醇或2‰新潔爾滅溶液擦拭機臺、桌面、門窗、墻壁等,用3%~5%的來蘇兒對地面擦拭。每3天生產(chǎn)結(jié)束后,用75%乙醇或2‰新潔爾滅溶液對潔凈室內(nèi)所有設施表面及頂棚、照明等表面進行擦拭, 3%~5%的來蘇兒對地面進行,目的是殺死因生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的繁殖體,控制潔凈室內(nèi)微生物含量。這些措施僅能控制潔凈室內(nèi)空氣中的量及雜菌種類,如果霉菌較多,就要先用5%石碳酸噴灑室內(nèi),然后用甲醛熏蒸才能達到無菌效果,而且只有這樣才能殺死、雜菌芽孢。每個生產(chǎn)周期結(jié)束,下個周期生產(chǎn)前對有無菌要求的潔凈室先進行液,檢測潔凈室內(nèi)塵埃粒子數(shù)符合規(guī)定后,再對潔凈室內(nèi)進行甲醛氣體熏蒸,從長期檢測的結(jié)果來看,這種環(huán)境方法效果很好。
甲醛氣體技術。甲醛熏蒸不僅對不易殺死的霉菌有很好的效果,而且對環(huán)境中的芽孢殺滅效果較好。甲醛熏蒸操作需要注意:首先保證室溫達到35℃以上、相對濕度在60%以上;其次要保證甲醛用量達到房間體積10克/立方米的比例;另外,房間時間不少于12小時;特別值得提醒的是在甲醛置換前用同比例的氨水進行中和,這樣將zui大限度地減少對人體的危害以及對環(huán)境的污染。為了防止對甲醛產(chǎn)生耐藥性,可以用臭氧進行交替效果會更好。
要保證凈化工程的潔凈度,施工與裝修上的注意事項*,除了這兩大因素,還有其他因素影響凈化工程的潔凈度么?我們一起來了解。
1、清水混凝土施工對凈化工程潔凈度的影響:主體混凝土結(jié)構只有按清水混凝土要求組織施工才能達到要求,清水混凝土對模板材料、支模方法要求都很高,施工前可將梁柱、樓板都繪制了配板圖交模板廠家,在工廠加工成所需模板,按配版圖編號運至現(xiàn)場,用小方木加固后用鋼管腳手架支撐使支模牢靠。
2、墻體工程對凈化工程潔凈度的影響:內(nèi)外墻抹灰,由于抹灰是在砌體與混凝土梁柱的組合體上進行,界面處易引起裂縫。另外還有墻體本身的密實性,外墻灰縫不密實時會引起浸水,使墻面下雨時可能泛潮、長霉;墻面的平整度超差過大會引起積灰;穿墻孔洞封堵不嚴會影響氣密性;灰縫不嚴實還會引起墻體開裂;防腐木磚等處理不當會引起松動、腐爛等。
3、門窗、管道安裝對凈化工程潔凈度的影響:凈化工程施工時管道縱橫交錯,有風管、消防水管、熱水管、氧氣管,有的部位穿插達四層之多,凈化車間內(nèi)的這些管道都設在吊頂上,潔凈管道安裝是核心,要求從管道制作到安裝每一步技術措施都要到位,否則很難保證潔凈度。另門窗安裝于內(nèi)外墻抹灰、外墻面磚粘貼綜合安排,統(tǒng)籌考慮,才能確保門縫、窗縫嚴密,保證潔凈車間、無塵室的潔凈度。
4、變形縫處理的好壞,也將直接影響凈化車間、無塵室的潔凈度。為使變形縫處理更符合實際要求,應針對性的選用各種材料及節(jié)點處理方案,經(jīng)工程管理人員及業(yè)主批準后實施,使業(yè)主滿意,也杜絕變形縫影響車間潔凈度的漏洞。