一般要經(jīng)過初效過濾、中效過濾、過濾等三個過濾段，氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表熱段→表冷段→中效凈化→風機送風→管道→凈化風口→吹入房間帶走塵埃等顆粒→回風百葉窗→初效凈化重復以上過程，即可達到凈化目的。

風系統(tǒng)：新風經(jīng)洗凈，初過濾，中過濾與回風混合后進人空凋器，空凋器按潔凈車間的熱、濕負荷需求處理約20％的循環(huán)風量，空調器出風與經(jīng)循環(huán)風機箱的回風再次混合至出風溫度，回風經(jīng)潔凈室專用回風地板，通過1.5米深的回風層，回至空調器/循環(huán)風機箱。

水系統(tǒng)：由新設的二次泵將二次冷水在空調器、冷水槽之間循環(huán)。

冷熱水系統(tǒng)設置三通閥根據(jù)回水溫度感知潔凈車間的負荷變化，為系統(tǒng)提供適合的冷熱量。

過濾系統(tǒng)(包括、中效、初效過濾器)設置壓差控制裝置以便適時更換阻力過大的過濾裝置。

蒸汽加濕器設置控制系統(tǒng)，根據(jù)潔凈車間的濕度變化控制進入加濕器蒸汽量。

系統(tǒng)連鎖控制：基本控制是當風機停止時，所有的水閥、風閥隨即關閉。

現(xiàn)在無塵車間在航空航天機艙中排高，基本上歸于一級，歸于面積相對較小的特殊領域。

此外，生化實驗室和高精度納米材料出產車間對等級要求較高。物聯(lián)網(wǎng)芯片的開展將是未來需求的主要方向。

青島凈化車間還可以考慮空調的要求，如室內溫濕度的均勻性均和工作人員的舒適性要求。