精密加工工藝是指加工精度以及表面光潔程度高于各相應加工方法精加工的各種加工工藝。精密切削加工是依靠精度高、剛性好的機床和精細刃磨的刀具用很高或極低的切削速度、很小的切深和進給量在工件表面切去極薄一層金屬的過程，顯然，這個過程能顯著提高零件的加工精度。

由于切削過程殘留面積小，又限度地排除了切削力、切削熱和振動等的不利影響，因此能有效地去除上道工序留下的表面變質(zhì)層，加工后表面基本上不帶有殘余拉應力，粗糙度也大大減小，極大地提高了加工表面質(zhì)量。高光潔高精度磨削包括精密磨削、超精密磨削和鏡面磨削。

以金剛石切削為例。其刀刃口圓弧半徑一直在向更小的方向發(fā)展。因為它的大小直接影響到被加工表面的粗糙度，與光學鏡面的反射率直接有關，對儀器設備的反射率要求越來越高。如激光陀螺反射鏡的反射率已提出要達到99.99%，這就必然要求金剛石刀具更加鋒利。為了進行切極薄試驗，目標是達到切屑厚度nm，其刀具刃口圓弧半徑應趨近2.4nm。為了達到這個高度，促使金剛石研磨機改變了傳統(tǒng)的結構。其中主軸軸承采用了空氣軸承作為支承，研磨盤的端面跳動可在機床上自行修正，使其端面跳動控制在0.5μm以下。

科技的發(fā)展對精密加工和超精密加工技術也提出了更高的要求。從大到天體望遠鏡的透鏡，小到大規(guī)模集成電路線寬μm要求的微細工程和微機械的微納米尺寸零件，不論體積大小，其尺寸精度都趨近于納米;零件形狀也日益復雜化，各種非球面已是當前非常典型的幾何形狀。微機械技術為超精密制造技術引來一種嶄新的態(tài)勢?它的微細程度使傳統(tǒng)的制造技術面臨一種新的挑戰(zhàn)，促進了各種產(chǎn)品技術性能的提高，發(fā)展過程呈現(xiàn)出螺旋式循環(huán)發(fā)展，直接對科學技術的進步和人類文明作出貢獻。對產(chǎn)品高質(zhì)量、小型化、高可靠性和高性能的追求，使超精密加工技術得以迅速發(fā)展，現(xiàn)已成為現(xiàn)代制造工業(yè)的重要組成部分。