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半導(dǎo)體芯片花籃耐酸堿PFA花籃4寸硅片承載器晶圓載具
PFA花籃 / IC專用盒 / 包裝盒 / 承載器 / 晶舟盒 / 晶圓載具
應(yīng)用實(shí)驗(yàn)：半導(dǎo)體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。
PFA花籃的性能優(yōu)勢(shì)：
1.耐強(qiáng)酸、強(qiáng)堿和各種有機(jī)溶劑
2.金屬元素空白值低
3.無(wú)溶出和析出
4.耐候性佳、不易應(yīng)力變形
5.耐磨、抗靜電性
6.有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性
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