國內(nèi)外關(guān)于ITO廢靶材的資源化利用和無害化處置技術(shù)的相關(guān)研究較多，主要可分為濕法、火法以及火濕法聯(lián)合三大類。濕法類主要的提取方式為鹽酸浸出，浸出液經(jīng)氧化法或使用鋁粉、鋅粉等分離銦錫后再置換得到粗銦，該方法的缺點(diǎn)是銦錫分離率低，氧化錫渣等中含銦約1%～2%，銦直收率﹤97%。

對(duì)ITO廢靶材中銦錫進(jìn)行資源化的關(guān)鍵是要綜合考量銦錫的分離率、直收率以及產(chǎn)品和副產(chǎn)品的品質(zhì)等經(jīng)濟(jì)技術(shù)指標(biāo)。上述幾種主流的從ITO廢靶中綜合回收銦錫的工藝中有一個(gè)共性的問題，那就是銦錫的分離不夠徹底，銦的回收率在97%～98%，進(jìn)一步提升銦收率的空間較小，產(chǎn)生的錫渣或粗錫中含銦較高，作為錫原料或產(chǎn)品出售時(shí)會(huì)造成銦的損失；所以，探尋一種從ITO廢靶材中充分、徹底分離并回收銦錫的新方法顯得尤為重要。

為了進(jìn)一步極限化的提高銦錫的收率，進(jìn)一步簡化工序，提升生產(chǎn)效率，減少環(huán)境污染，此次在基于氯化錫具有相對(duì)較低沸點(diǎn)的特性的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)了“鹽酸浸出—蒸餾分離銦錫—鋅或鋁置換銦—蒸出錫提純制五水氯化錫/蒸出酸回用”的技術(shù)方案，并進(jìn)行了系統(tǒng)的試驗(yàn)驗(yàn)證。

中國已經(jīng)是世界的ITO靶材需求國，在全球的比重將從2016年的40%提高到2019年的49%，則中國對(duì)ITO靶材的需求量從2016年的542噸增長到2019年的823噸。