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納米氧化硅拋光液對 LED 藍寶石襯底具有優(yōu)異的拋光性能，拋光后的表面無劃傷、無腐蝕坑，且粗糙度小于 0. 2 nm。

納米氧化硅拋光液用于 LED 藍寶石襯底表面拋光，拋光速率可以達到5 μm/h左右，粗糙度可以達到 0. 2 nm 以下，且表面幾乎無微觀缺陷。

技術(shù)指標

項目

指標

型號

VK-SQ50W

VK-SQ80W

外觀

白色乳液

白色乳液

粒徑 nm

50

80

含量 %

30

30

pH

9-11

9-11

拋光特點：應(yīng)用領(lǐng)域廣、拋光效率高， 可用于硅片、化合物晶體、精密光學(xué)器件、寶石、金屬等的拋光加工。

包裝：5kg/桶；25kg/桶