長(zhǎng)晶爐是用于人工合成晶體的設(shè)備。在利用長(zhǎng)晶爐獲取碳化硅晶體時(shí)，首先需要將高純碳化硅粉料置于密閉的石墨坩堝中，而后將密閉的石墨坩堝放入長(zhǎng)晶爐的腔體內(nèi)，利用真空泵對(duì)腔體抽取真空后向腔體內(nèi)通入定量惰性氣體，然后通過(guò)感應(yīng)線圈實(shí)現(xiàn)石墨坩堝的感應(yīng)加熱以合成碳化硅晶體，同時(shí)爐體上設(shè)有石英玻璃制成的測(cè)溫窗口，以通過(guò)紅外測(cè)溫儀獲取腔體內(nèi)的溫度并根據(jù)溫度調(diào)節(jié)加熱功率。而在晶體合成的過(guò)程中，腔體內(nèi)的氣氛中會(huì)生成有一定量的揮發(fā)物，揮發(fā)物凝結(jié)在測(cè)溫窗口表面會(huì)影響紅外測(cè)溫儀獲取腔內(nèi)溫度的準(zhǔn)確性，進(jìn)而影響加熱溫度的準(zhǔn)確性。目前是通過(guò)定期更換石英玻璃或者磨拋石英玻璃以保證測(cè)溫窗口的潔凈，但是這種方式會(huì)導(dǎo)致石英玻璃的損耗較大，成本較高，且更換及磨拋石英玻璃還會(huì)造成人力資源的消耗。