污染物微粒聚集在組件不適當?shù)奈恢蒙峡赡軙p害其功能或者使其徹底報廢。柴油噴射技術(shù)就是一個很好的例子。從1996年開始，在五年時間里這項技術(shù)性能迅速提高，結(jié)果是噴射壓力越來越高、噴嘴尺寸越做越小。高壓泵的壓力在2000巴以上，燃料通過直徑大約為100μm的孔注入燃燒室。在生產(chǎn)這類系統(tǒng)時只是保證不同的組件高度清潔是不夠的，組裝工藝也必須在高度清潔的環(huán)境下進行。

根據(jù)潔凈室的等級，合理選擇潔凈室的氣流分布流型，在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū)；盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區(qū)；氣流的流動有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風口排走。

一般情況下，凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。其原因是兩者之間的負荷特點不同。就潔凈室，尤其是半導體工業(yè)潔凈室而言，其負荷特點是：由于排風量大造成新風量大，故新風處理所需冷量消耗大；送風量大，輸送動力消耗大，風機管道溫升高；生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)熱量大，消耗冷量大。這三項負荷之和一般占總負荷的70%~95%。因此，凈化空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能措施應(yīng)從減少新風量（減少排風量）；控制送風量（合理確定換氣次數(shù)）；充分利用回風量；選擇低阻力率的空調(diào)和凈化設(shè)備和可變風量的風機等入手。

潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的，潔凈室設(shè)計必須滿足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求，這是理所當然的。因此，在潔凈室設(shè)計時生產(chǎn)工藝對環(huán)境參數(shù)的要求應(yīng)該實事求是，其面積、層高，溫度、濕度，潔凈度等應(yīng)該該高則高，該低則低，并非越高越好。在不影響生產(chǎn)工藝正常運行的前提下盡可能地降低參數(shù)要求，控制凈化面積，縮小高凈化級別潔凈區(qū)的范圍，嚴格控制100級和更高級別單向流潔凈區(qū)的面積。