1、進(jìn)入潔凈室之前，預(yù)先清潔儀器、人員以及零件;

2、用可控的多級壓力、溫度和濕度控制裝置密封建筑;

3、HEPA過濾;

4、增強工藝以減少顆粒/沉淀物的產(chǎn)生;

5、保護性外衣;

6、清潔;

7、雙門配置將相鄰的空間分開，包括運送和接收區(qū)域。

在將關(guān)鍵空間設(shè)計為分級的潔凈室是合理的。

潔凈室的流型基本上是上述三種類型，但是實際應(yīng)用時可演變出很多形式。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型，以在局部區(qū)域（單向流部分）實現(xiàn)高級別的潔凈室。例如，在潔凈室中設(shè)水平單向流的“隧道”（一側(cè)敞開），潔凈室的其余部分是渦流的單向流流型，從而實現(xiàn)“隧道”部分達(dá)到5級以上潔凈度，工作臺就設(shè)在“隧道內(nèi)”。

當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級時，選用層流流型；當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時，選用亂流流型。

減少渦流，避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。

為了防止灰塵的二次飛揚，氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風(fēng)口不應(yīng)設(shè)在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口。

潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的，潔凈室設(shè)計必須滿足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求，這是理所當(dāng)然的。因此，在潔凈室設(shè)計時生產(chǎn)工藝對環(huán)境參數(shù)的要求應(yīng)該實事求是，其面積、層高，溫度、濕度，潔凈度等應(yīng)該該高則高，該低則低，并非越高越好。在不影響生產(chǎn)工藝正常運行的前提下盡可能地降低參數(shù)要求，控制凈化面積，縮小高凈化級別潔凈區(qū)的范圍，嚴(yán)格控制100級和更高級別單向流潔凈區(qū)的面積。