1、進入潔凈室之前，預先清潔儀器、人員以及零件;

2、用可控的多級壓力、溫度和濕度控制裝置密封建筑;

3、HEPA過濾;

4、增強工藝以減少顆粒/沉淀物的產(chǎn)生;

5、保護性外衣;

6、清潔;

7、雙門配置將相鄰的空間分開，包括運送和接收區(qū)域。

在將關鍵空間設計為分級的潔凈室是合理的。

矢量潔凈室：在房間的側上角送風，采用扇形過濾器，也可以用普通過濾器配扇形送風口，在另一側的下部設回風口，房間的高長比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達到5級（100級）潔凈度。

工作區(qū)的氣流應均勻，流速必須滿足工藝和衛(wèi)生的要求；潔凈氣流應盡可能把工作部位圍罩起來，使污染物在擴散之前便流向回風口。

工作設備布置時要留有一定的間隔，為送、回風口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件：氣流組織設計時要考慮高大設備對氣流組織的影響。

一般情況下，凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。其原因是兩者之間的負荷特點不同。就潔凈室，尤其是半導體工業(yè)潔凈室而言，其負荷特點是：由于排風量大造成新風量大，故新風處理所需冷量消耗大；送風量大，輸送動力消耗大，風機管道溫升高；生產(chǎn)設備的發(fā)熱量大，消耗冷量大。這三項負荷之和一般占總負荷的70%~95%。因此，凈化空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能措施應從減少新風量（減少排風量）；控制送風量（合理確定換氣次數(shù)）；充分利用回風量；選擇低阻力率的空調(diào)和凈化設備和可變風量的風機等入手。