小粒徑粉塵的擴(kuò)散作用(布朗運(yùn)動)明顯,風(fēng)速低了,氣流在過濾材料中滯留的時(shí)間就長一些,粉塵就有更多的機(jī)會撞擊障礙物,因此過濾效率就高。經(jīng)驗(yàn)表明,對于過濾器,風(fēng)速減少一半,粉塵的透過率會降低近一個(gè)數(shù)量級(效率數(shù)值增加一個(gè)9),風(fēng)速增加一倍,透過率會增加一個(gè)數(shù)量級(效率降低一個(gè)9)。
與擴(kuò)散的效果類似,當(dāng)過濾材料帶靜電時(shí)(駐極體材料),粉塵在濾材中滯留的時(shí)間越長,被材料吸附的可能性就越大。改變風(fēng)速,帶靜電材料的過濾效率會明顯改變。如果你知道材料上有靜電,進(jìn)行空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)就應(yīng)該盡可能地減少通過每只過濾器的風(fēng)量。
無塵室是污染控制的基礎(chǔ),是一間具備了空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間。在無塵室的硅晶片制造鏈中,必須是一個(gè)無污染源的環(huán)境、超潔凈的車間,硅晶片零件才能夠正常批量生產(chǎn).一些高新技術(shù)對生產(chǎn)環(huán)境的要求提高,為了提升競爭力,各個(gè)行業(yè)也開始追求無塵室的質(zhì)量。
工作人員會帶入塵埃,那么所有的物料及設(shè)備也會影響無塵室的清潔。在物流和設(shè)備進(jìn)入時(shí),要做到不將任何微粒或微生物帶入室內(nèi)。工作人員要在無塵室內(nèi)穿著潔凈衣服,用無塵紙擦拭物料和設(shè)備。搬運(yùn)時(shí)也要為地板鋪上已經(jīng)清潔過的不銹鋼板,防止破壞地板。