所謂半導(dǎo)體電子潔凈車間，指的是潔凈度在10萬級標(biāo)準(zhǔn)以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計算。在絕大多數(shù)情況下，無塵車間運行中風(fēng)速越低，過濾器的使用效果越好。

無塵室潔凈度之維持和控制，除了硬件設(shè)備的投資外，也需要良好的軟件—管理制度來搭配，才能保持良好的潔凈度；無塵室運行和管理，可依作業(yè)人員、原物料、設(shè)備及無塵室內(nèi)所用東西等加以探討；無塵室內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外，制程設(shè)備也包括在內(nèi)，系統(tǒng)運行維護及保養(yǎng)需要經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人士來執(zhí)行。

無塵車間是指在封閉空間范圍內(nèi)將有害空氣、、微粒子等污染物排出，并將室內(nèi)溫度、室內(nèi)壓力、氣流速度等控制在某一范圍內(nèi)。無塵車間的潔凈程度高，空氣經(jīng)過多重凈化，溫度環(huán)境適合工人工作，無塵車間內(nèi)如果沒有輻射物，沒有油漆、白電油等釋放有害氣體的物品，而且送風(fēng)排風(fēng)有效，設(shè)備管理得當(dāng)，那么無塵車間對身體一般沒有危害。

進入無塵車間須知

(1)進入無塵車間應(yīng)穿干凈鞋具，不得帶油漬、污泥入內(nèi);

(2)室內(nèi)不得吸煙、飲食和飲水;

(3)焊接、切割、鑿洞等有塵作業(yè)必須加以控制，防止碎屑大范圍擴散，每天工作結(jié)束時應(yīng)將垃圾搬出室外倒入規(guī)定處;

(4)施工材料堆放整齊;

(5)室內(nèi)嚴(yán)禁大小便;