小粒徑粉塵的擴散作用(布朗運動)明顯，風速低了，氣流在過濾材料中滯留的時間就長一些，粉塵就有更多的機會撞擊障礙物，因此過濾效率就高。經(jīng)驗表明，對于過濾器，風速減少一半，粉塵的透過率會降低近一個數(shù)量級(效率數(shù)值增加一個9)，風速增加一倍，透過率會增加一個數(shù)量級(效率降低一個9)。

經(jīng)測試分析，無塵室的微污染中80%是工作人員帶來的。當工作人員進出無塵室時塵埃有顯著增加，潔凈度立刻劣化。因此在工作人員進入無塵室前要做好清潔擦拭等防塵動作，且企業(yè)也要對工作人員進行培訓，并制定相應的章程和制度等。

除了防止微塵進入，無塵室也要設置凈化空調(diào)系統(tǒng)、水電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設備等各類設備設施，來確保無塵室內(nèi)的空氣潔凈度級別使用符合產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求。在系統(tǒng)正常運行中，維護也是必不可少的。比如，空氣過濾器是否疏通正常、密封墊是否牢固、送風機軸承的運行是否處于正常狀態(tài)等。每一項都影響了系統(tǒng)的運行，因此不可遺漏。

建造一個合格的電子無塵車間需要考慮多個因素，包括空氣過濾、控制粉塵、靜電消除、溫度和濕度控制以及合適的設備和工作流程?？諝膺^濾：安裝的空氣過濾系統(tǒng)是建造無塵車間的關(guān)鍵。使用HEPA（顆?？諝猓┻^濾器能夠有效地捕捉微小顆粒物，防止灰塵和污染物進入車間。