所謂半導(dǎo)體電子潔凈車(chē)間，指的是潔凈度在10萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車(chē)間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。在絕大多數(shù)情況下，無(wú)塵車(chē)間運(yùn)行中風(fēng)速越低，過(guò)濾器的使用效果越好。

對(duì)于過(guò)濾器，氣流穿過(guò)濾材的速度一般在0.01～0.04m/s，在這個(gè)范圍內(nèi)，過(guò)濾器的阻力與過(guò)濾風(fēng)量呈正比關(guān)系。例如，一只484×484×220mm的過(guò)濾器，在額定風(fēng)量1000m3/h下的初阻力為250Pa，如果使用中的實(shí)際風(fēng)量是500m3/h，它的初阻力可降為125Pa。對(duì)于空調(diào)箱中的一般通風(fēng)用過(guò)濾器，氣流穿過(guò)濾材的速度在0.13～1.0m/s范圍內(nèi)，阻力與風(fēng)量不再是線(xiàn)性關(guān)系，而是一條上揚(yáng)的弧線(xiàn)，風(fēng)量增加30%，阻力可能會(huì)增加50%，若過(guò)濾器阻力對(duì)你來(lái)說(shuō)是個(gè)非常重要的參數(shù)，你就要向過(guò)濾器供應(yīng)商索要阻力曲線(xiàn)。

經(jīng)測(cè)試分析，無(wú)塵室的微污染中80%是工作人員帶來(lái)的。當(dāng)工作人員進(jìn)出無(wú)塵室時(shí)塵埃有顯著增加，潔凈度立刻劣化。因此在工作人員進(jìn)入無(wú)塵室前要做好清潔擦拭等防塵動(dòng)作，且企業(yè)也要對(duì)工作人員進(jìn)行培訓(xùn)，并制定相應(yīng)的章程和制度等。

建造一個(gè)合格的電子無(wú)塵車(chē)間需要考慮多個(gè)因素，包括空氣過(guò)濾、控制粉塵、靜電消除、溫度和濕度控制以及合適的設(shè)備和工作流程。空氣過(guò)濾：安裝的空氣過(guò)濾系統(tǒng)是建造無(wú)塵車(chē)間的關(guān)鍵。使用HEPA（顆粒空氣）過(guò)濾器能夠有效地捕捉微小顆粒物，防止灰塵和污染物進(jìn)入車(chē)間。