所謂半導(dǎo)體電子潔凈車間，指的是潔凈度在10萬級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。在絕大多數(shù)情況下，無塵車間運(yùn)行中風(fēng)速越低，過濾器的使用效果越好。

與擴(kuò)散的效果類似，當(dāng)過濾材料帶靜電時(shí)(駐極體材料)，粉塵在濾材中滯留的時(shí)間越長(zhǎng)，被材料吸附的可能性就越大。改變風(fēng)速，帶靜電材料的過濾效率會(huì)明顯改變。如果你知道材料上有靜電，進(jìn)行空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)就應(yīng)該盡可能地減少通過每只過濾器的風(fēng)量。

無塵室管理是要保障保障潔凈。保障一個(gè)自然環(huán)境長(zhǎng)期性潔凈，應(yīng)該許多要求和方法保持，假如有些人不實(shí)行這種要求和方法，潔凈將漸漸地變有塵。你需要管理的便是任何人對(duì)這種要求和方法實(shí)實(shí)在在的實(shí)行。要不然工作中沒法運(yùn)作，商品沒法生產(chǎn)制造。保障一個(gè)自然環(huán)境長(zhǎng)期性潔凈，很定應(yīng)該許多要求和方法來保持，假如有些人不實(shí)行這種要求和方法，潔凈將漸漸地變有塵。你需要管理的便是任何人對(duì)這種要求和方法實(shí)實(shí)在在的實(shí)行。

除了防止微塵進(jìn)入，無塵室也要設(shè)置凈化空調(diào)系統(tǒng)、水電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備等各類設(shè)備設(shè)施，來確保無塵室內(nèi)的空氣潔凈度級(jí)別使用符合產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求。在系統(tǒng)正常運(yùn)行中，維護(hù)也是必不可少的。比如，空氣過濾器是否疏通正常、密封墊是否牢固、送風(fēng)機(jī)軸承的運(yùn)行是否處于正常狀態(tài)等。每一項(xiàng)都影響了系統(tǒng)的運(yùn)行，因此不可遺漏。