對(duì)于以慣性機(jī)理為主的大顆粒粉塵,根據(jù)傳統(tǒng)理論,風(fēng)速降低后,粉塵與纖維碰撞的幾率會(huì)減少,過(guò)濾效率會(huì)隨之降低。但在實(shí)踐中這種影響并不明顯,因?yàn)轱L(fēng)速小了,纖維對(duì)粉塵的反彈力也小了,粉塵更容易被粘住。
風(fēng)速高,阻力就大。如果過(guò)濾器的使用壽命以終阻力為依據(jù),風(fēng)速高,過(guò)濾器的使用壽命就短。一般用戶(hù)很難實(shí)際觀察到風(fēng)速對(duì)過(guò)濾效率的影響,但觀察風(fēng)速對(duì)阻力的影響要容易得多。
無(wú)塵室潔凈度之維持和控制,除了硬件設(shè)備的投資外,也需要良好的軟件—管理制度來(lái)搭配,才能保持良好的潔凈度;無(wú)塵室運(yùn)行和管理,可依作業(yè)人員、原物料、設(shè)備及無(wú)塵室內(nèi)所用東西等加以探討;無(wú)塵室內(nèi)系統(tǒng)除了通稱(chēng)的空調(diào)系統(tǒng)之外,制程設(shè)備也包括在內(nèi),系統(tǒng)運(yùn)行維護(hù)及保養(yǎng)需要經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的專(zhuān)業(yè)人士來(lái)執(zhí)行。
無(wú)塵室是污染控制的基礎(chǔ),是一間具備了空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間。在無(wú)塵室的硅晶片制造鏈中,必須是一個(gè)無(wú)污染源的環(huán)境、超潔凈的車(chē)間,硅晶片零件才能夠正常批量生產(chǎn).一些高新技術(shù)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求提高,為了提升競(jìng)爭(zhēng)力,各個(gè)行業(yè)也開(kāi)始追求無(wú)塵室的質(zhì)量。
工作人員會(huì)帶入塵埃,那么所有的物料及設(shè)備也會(huì)影響無(wú)塵室的清潔。在物流和設(shè)備進(jìn)入時(shí),要做到不將任何微?;蛭⑸飵胧覂?nèi)。工作人員要在無(wú)塵室內(nèi)穿著潔凈衣服,用無(wú)塵紙擦拭物料和設(shè)備。搬運(yùn)時(shí)也要為地板鋪上已經(jīng)清潔過(guò)的不銹鋼板,防止破壞地板。