所謂半導(dǎo)體電子潔凈車(chē)間，指的是潔凈度在10萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車(chē)間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。在絕大多數(shù)情況下，無(wú)塵車(chē)間運(yùn)行中風(fēng)速越低，過(guò)濾器的使用效果越好。

小粒徑粉塵的擴(kuò)散作用(布朗運(yùn)動(dòng))明顯，風(fēng)速低了，氣流在過(guò)濾材料中滯留的時(shí)間就長(zhǎng)一些，粉塵就有更多的機(jī)會(huì)撞擊障礙物，因此過(guò)濾效率就高。經(jīng)驗(yàn)表明，對(duì)于過(guò)濾器，風(fēng)速減少一半，粉塵的透過(guò)率會(huì)降低近一個(gè)數(shù)量級(jí)(效率數(shù)值增加一個(gè)9)，風(fēng)速增加一倍，透過(guò)率會(huì)增加一個(gè)數(shù)量級(jí)(效率降低一個(gè)9)。

除了防止微塵進(jìn)入，無(wú)塵室也要設(shè)置凈化空調(diào)系統(tǒng)、水電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備等各類設(shè)備設(shè)施，來(lái)確保無(wú)塵室內(nèi)的空氣潔凈度級(jí)別使用符合產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求。在系統(tǒng)正常運(yùn)行中，維護(hù)也是必不可少的。比如，空氣過(guò)濾器是否疏通正常、密封墊是否牢固、送風(fēng)機(jī)軸承的運(yùn)行是否處于正常狀態(tài)等。每一項(xiàng)都影響了系統(tǒng)的運(yùn)行，因此不可遺漏。

無(wú)塵車(chē)間是指在封閉空間范圍內(nèi)將有害空氣、、微粒子等污染物排出，并將室內(nèi)溫度、室內(nèi)壓力、氣流速度等控制在某一范圍內(nèi)。無(wú)塵車(chē)間的潔凈程度高，空氣經(jīng)過(guò)多重凈化，溫度環(huán)境適合工人工作，無(wú)塵車(chē)間內(nèi)如果沒(méi)有輻射物，沒(méi)有油漆、白電油等釋放有害氣體的物品，而且送風(fēng)排風(fēng)有效，設(shè)備管理得當(dāng)，那么無(wú)塵車(chē)間對(duì)身體一般沒(méi)有危害。