微粒控制十分嚴格、要求控制0.02μm甚至更小粒徑ISO1級或更嚴格。
高純物質,包括高純水、高純氣體高純化學品的供應、輸送。
對微振控制十分嚴格、需制定切實可行的規(guī)定
對防靜電、電磁兼容等
大體量、多層單向流潔凈室,二層/三層布置數(shù)萬㎡
丙類生產的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室(區(qū)),在關鍵生產設備設有火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統(tǒng)后,其每個防火分區(qū)的允許建筑面積可按生產工藝要求確定。
凈化工程包括:亂流式、亂流式、復合式。
1、亂流式
空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
2、層流式
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。
3、復合式
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
凈化車間工程設計一般都有設計院或凈化工程公司來承接,很少出現(xiàn)設計問題不合理的原因,主要是一些不正規(guī)的公司,沒有承接凈化車間的資質,設計不合理,在施工中偷工減料,使用的設備不合適,造成凈化車間潔凈度不合格。另一個原因是,公司的套用方案,不符合生產要求,在設計上有不足,導致清潔度不合格