空調系統(tǒng)24小時全天運轉并監(jiān)控管理半導體工廠部分制程設備，對溫濕度變化極為敏感，如黃光區(qū)Stepper光學機臺，些微的溫、濕度變化均會使設備的準度偏差，另外芯片等產品也必須置放在定溫定濕的環(huán)境下，故空調系統(tǒng)必須24小時監(jiān)控管理之。

工業(yè)廠房，指直接用于生產或為生產配套的各種房屋，包括主要車間、輔助用房及附屬設施用房。凡工業(yè)、交通運輸、商業(yè)、建筑業(yè)以及科研、學校等單位中的廠房都應包括在內。工業(yè)廠房除了用于生產的車間，還包括其附屬建筑物。

標準廠房設計規(guī)范

一、工業(yè)廠房設計必須貫徹執(zhí)行國家的有關方針政策，做到技術先進、經濟合理、適用、確保質量，符合節(jié)約能源和環(huán)境保護的要求。

二、本規(guī)范適用于新建和改建、擴建的工業(yè)廠房設計，但不適用于以為控制對象的生物潔凈室。本規(guī)范有關防火和疏散、消防設施章節(jié)的規(guī)定，不適用于建筑高度超過24米的高層工業(yè)廠房和地下工業(yè)廠房的設計。

三、條在利用原有建筑進行潔凈技術改造時，工業(yè)廠房設計必須根據生產工藝要求，因地制宜、區(qū)別對待，充分利用已有的技術設施。

四、工業(yè)廠房設計應為施工安裝、維護管理、測試和運行創(chuàng)造必要的條件。

五、工業(yè)廠房設計除應按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應符合現行的國家標準、規(guī)范的有關要求。

六、工業(yè)廠房是由獨立一棟建筑物（車間），和獨立一棟建筑物（宿舍），兩棟建筑物之間距離標準是10米，近不得少于5米，以便消驗收合格。建筑物的占地面積與建筑面積的比例是1：3。

在一個建設場地內，確定各廠房設計方案時，宜使構配件的類型統(tǒng)一。

在技術經濟合理的基礎上，廠房的體形應力求簡單，避免設置縱橫跨和多跨廠房中的高度差。

在編制廠房建筑構配件標準設計圖集時，應使用途相同的構配件具有限度的互換性。

廠房建筑設計除應符合本標準的有關規(guī)定外，還應符合現行有關國家標準的規(guī)定。