凈室系統(tǒng)，制造匹配規(guī)格之潔凈空氣，連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端，凈室內的制造區(qū)（FAB）。一般而言，制造潔凈空氣之氣源為外氣（OUTSIDE AIR），經過凈室系統(tǒng)各種處理單元設備之處理后進而得到匹配規(guī)格之潔凈空氣。以下簡單介紹其處理流程：外氣經由外氣空調箱（Make-up Air Unit或MAU）初步過濾微塵（particle）并控制其溫濕度后，經由回風管道間（Mech. Chase），將凈室之循環(huán)風量與外氣空調箱之補充風量混合，經由冷卻盤管（Dry Cooling Coil）將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規(guī)格，透過循環(huán)風扇（Fan Filter Unit或FFU）帶動凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經過超高性能過濾網（Ultra-low penetration air或ULPA Filter）過濾后，供應至Fab區(qū)。

溫濕度要求比一般空調高一般空調要求在18°C~26 °C之間，相對濕度則在40%~65%之間；凈室空調必須控制在22°C~24 °C之間，相對濕度則在45%~55%。

恒溫恒濕控制由于半導體制程對溫濕度變化的大小極為敏感，故在凈室大部分區(qū)域必須控制在± 1°C及± 3%之內。

標準廠房設計規(guī)范

一、工業(yè)廠房設計必須貫徹執(zhí)行國家的有關方針政策，做到技術先進、經濟合理、適用、確保質量，符合節(jié)約能源和環(huán)境保護的要求。

二、本規(guī)范適用于新建和改建、擴建的工業(yè)廠房設計，但不適用于以為控制對象的生物潔凈室。本規(guī)范有關防火和疏散、消防設施章節(jié)的規(guī)定，不適用于建筑高度超過24米的高層工業(yè)廠房和地下工業(yè)廠房的設計。

三、條在利用原有建筑進行潔凈技術改造時，工業(yè)廠房設計必須根據生產工藝要求，因地制宜、區(qū)別對待，充分利用已有的技術設施。

四、工業(yè)廠房設計應為施工安裝、維護管理、測試和運行創(chuàng)造必要的條件。

五、工業(yè)廠房設計除應按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應符合現行的國家標準、規(guī)范的有關要求。

六、工業(yè)廠房是由獨立一棟建筑物（車間），和獨立一棟建筑物（宿舍），兩棟建筑物之間距離標準是10米，近不得少于5米，以便消驗收合格。建筑物的占地面積與建筑面積的比例是1：3。

本標準適用于：

一、設計裝配式或部分裝配式的鋼筋混凝土結構和混合結構廠房；

二、編制廠房建筑構配件標準設計圖集。

注：①設計鋼結構廠房、受條件限制的改（擴）建廠房、現澆式鋼筋混凝土結構廠房、工藝對廠房有特殊要求的廠房或按本標準設計在技術經濟上會產生顯著不合理的廠房，可不執(zhí)行本標準的某些規(guī)定；②采用新技術、新結構和新材料的廠房，可不受本標準某些規(guī)定的限制。