小型蒸鍍儀一：產(chǎn)品參數(shù)

1． 產(chǎn)品名稱：小型蒸鍍儀

2． 產(chǎn)品型號(hào)：KT-Z1650CVD

3． 產(chǎn)品品牌：鄭科探 Zhengketan

4． 生產(chǎn)廠家：鄭州科探儀器設(shè)備有限公司

二：功能要求

KT-Z1650CVD 是一款小型臺(tái)式加熱功率可控蒸發(fā)鍍膜儀，儀器雖 小功能齊全。配備 7 寸觸摸屏人工界面，具有電流時(shí)間工藝儲(chǔ)存功 能。配備有電壓 電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)，樣品高度調(diào)節(jié)，及自動(dòng)電動(dòng) 樣品擋板功能。通過(guò)定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率，可對(duì)大部分金 屬（金，銀，銅，鉻，鎳等）和有機(jī)物進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積。真空腔 室為透明玻璃減少樣品污染，樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄 膜，可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。

三：主要技術(shù)要求

1． 控制方式：7 寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

2． 加熱方式：數(shù)字式功率調(diào)整器

3． 鍍膜功能：0-999 秒 5 段可變換功率及擋板位和樣品速度程 序

4． 功率：≤1200W

5． 輸出電壓電流：電壓≤12V 電流≤120A

6． 真空度：機(jī)械泵 ≤5Pa（5 分鐘） 分子泵≤10^-3Pa

7． 擋板類型：電控

8． 真空腔室：玻璃罩+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

9． 樣品臺(tái)：可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50 基底）

10． 樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速：8 轉(zhuǎn)/分鐘

11． 樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離：70-140mm

12． 蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)：≤1800℃

13． 支持蒸發(fā)坩堝類型： 鎢絲藍(lán) 帶坩堝鎢絲藍(lán) 鎢舟 碳繩 陶瓷坩堝 石英石坩堝

14． 預(yù)留真空接口：KF25 抽氣口 KF16 真空計(jì)接口 KF16 放 氣口 6mm 卡套進(jìn)氣口

四：主要配置要求

1．1 臺(tái) · 小型蒸鍍儀 KT-Z1650CVD 主機(jī)

2．1 個(gè) · 真空擋板閥 KF25 接口

3. 1 個(gè) · 放氣閥 KF16 接口

4. 1 個(gè) · 52T 真空計(jì) KF16 5. 1 臺(tái) ·

（選配）分子泵真空機(jī)組，機(jī)械泵