PECVD射頻模塊：PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109--1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)物質(zhì)，從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)。通過(guò)反應(yīng)氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn)，工藝流程簡(jiǎn)單，與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較，生長(zhǎng)溫度更低，管輝光均勻等效，薄膜均勻沉積。

PECVD射頻模塊技術(shù)資料

型號(hào)

KT--PE150S

KT-PE500Z

信號(hào)頻率

13.56MH?±0.005%

功率輸出范圍

0-150W

0-500W

功率穩(wěn)定度

≤5W

反射功率

40W

射頻輸出接口

7/16 female 50 Ω

功率穩(wěn)定度

≤5W

匹配方式

手動(dòng)調(diào)節(jié)匹配

500W自動(dòng)匹配

耦合方式

電感式耦合

輝光壓力

≤30Pa

供電電壓

AC220V±10% 50/60H?

整機(jī)效率

≥70%

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng)冷

支持爐管直徑

Φ25mm--φ80mm

Φ25mm--150mmφ

感應(yīng)區(qū)

210mm

整機(jī)重量

48KG

整機(jī)尺寸:H×W×D(mm)

600×600×1100