LED專用爐主要滿足LED芯片制造行業(yè)，對(duì)圓片及殘片進(jìn)行合金、退火、擴(kuò)散、氧化等工藝。主要性能指標(biāo)：

外型形式：臥式1—4管結(jié)構(gòu)，水平爐管

工作溫度：200℃—1100℃

恒溫區(qū)長(zhǎng)度：≥600mm

硅片規(guī)格：適用于2—6英寸硅片以及碎片

恒溫區(qū)精度：≤±1℃(在400—1000℃范圍內(nèi))

單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性：≤±1℃／24h(在400—1000℃范圍內(nèi))

溫度過(guò)沖平衡：載料進(jìn)爐，溫度平衡到工藝時(shí)間，低于10分鐘

工藝氣體及控制：氮?dú)?、氧氣，MFC或浮子流量計(jì)控制

氣路系統(tǒng)氣密性：1×10-7PaM3/S

送料機(jī)構(gòu)：懸臂石英桿載料，手動(dòng)

報(bào)警系統(tǒng)：工藝氣體壓力異常報(bào)警、斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警

控制方式：工控機(jī)總程控制、觸摸屏控制