Soft collar 為進(jìn)口石英纖維棉采用德國加工工藝制成，用于擴(kuò)散爐和PECVD設(shè)備中爐體和石英管之間的隔熱保溫，解決了以往用保溫棉存在的兩大問題：一是保溫棉長時(shí)間高溫下出現(xiàn)粉化脫落從而影響工作腔體潔凈度，二是手動(dòng)堵塞保溫棉不均勻，影響工作區(qū)溫度穩(wěn)定性和均勻性。本產(chǎn)品可長期使用在高溫下，不粉化，不硬化，不氧化，不變形，防震、耐腐蝕。

技術(shù)指標(biāo)：

保溫材料：進(jìn)口石英纖維棉

產(chǎn)品尺寸：根據(jù)客戶擴(kuò)散爐或PECVD設(shè)備爐體口徑定制

使用溫度：≤1287℃

線性收縮：≤0.1%