主流回收工藝分類 當前ITO靶材回收主要圍繞銦元素提取展開,主要分為物理法、化學法和聯(lián)合工藝三類: 熔煉過濾法(物理法) 通過高溫熔煉結合篩網過濾實現(xiàn)銦與其他金屬的分離。具體流程包括: 廢銦塊在625℃熔煉爐中熔化,利用鐵/不銹鋼篩網(30-40目)截留固態(tài)雜質鐵、鋁。 熔融銦通過重力滴落收集,殘留物可二次熔煉提升回收率至72%。 該方法具有設備簡單(圖1)、周期短(單次處理≤60分鐘)的優(yōu)勢,適用于含銦量70%-90%的廢靶材。但需控溫(±5℃),否則雜質金屬可能熔化導致純度下降至95%以下。
劑萃取法(化學法) 以濕法冶金為基礎,通過P204萃取劑選擇性富集銦: 含銦物料經硫酸浸出后,在pH=1.5-2.0條件下進行三級逆流萃取,銦萃取率可達98%。 該工藝對低品位原料(含銦0.02%)適用性強,但存在試劑消耗大(硫酸用量2-3噸/噸銦)、廢水處理成本高的問題。
ITO靶材,即銦錫氧化物靶材,主要由氧化銦(In?O?)和氧化錫(SnO?)組成,其中氧化銦占比高達90%。ITO靶材因其優(yōu)異的導電性和高透光性,成為液晶顯示器(LCD)、觸摸屏及太陽能電池等光電設備的理想材料。其晶體結構穩(wěn)定,電導率高,確保了設備的運行。
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