物理特性:銦靶材呈銀色光澤的灰色,熔點(diǎn)為 156.61℃,沸點(diǎn) 2060℃,密度 7.3 g/cm3。質(zhì)地非常軟,能用指甲刻痕,可塑性強(qiáng),有良好的延展性,可壓成片。
化學(xué)特性:銦具有較好的化學(xué)穩(wěn)定性,但在一些特定的環(huán)境下,如高溫、強(qiáng)酸堿等條件下,可能會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。銦化合物在真空下蒸發(fā),能夠在電子產(chǎn)品和光伏電池生產(chǎn)中形成薄膜。
濺射時(shí)間與沉積厚度
厚度監(jiān)控:使用石英晶體微天平(QCM)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜沉積速率,結(jié)合靶材消耗速率(約 0.1~0.5 μm/min,與功率相關(guān)),控制濺射時(shí)間。
靶材利用率:避免過度濺射導(dǎo)致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 時(shí)需及時(shí)更換),通常平面靶材利用率約 30%~40%,旋轉(zhuǎn)靶可提升至 60% 以上。
真空系統(tǒng)維護(hù)
腔體清潔:每次濺射后及時(shí)清理腔體內(nèi)壁及基片臺(tái)的銦沉積層(銦延展性強(qiáng),易粘附在腔體表面,長(zhǎng)期積累可能導(dǎo)致短路或影響真空度)。
可用棉簽蘸取乙醇擦拭,或用軟質(zhì)刮刀輕輕刮除(避免損傷腔體涂層)。
真空泵保養(yǎng):定期更換真空泵油(因銦蒸氣可能污染泵油,建議每 200 小時(shí)檢查一次),防止油液粘度升高影響抽氣效率。
錦鑫業(yè)務(wù)回收范圍:
冶煉廠:黃金,白銀,鉑金,鈀金,銠金,銀鋅電瓶,以及粗鉛,貴鉛,陽極泥等廢料;
礦山廠:銅粉,鉛粉,活性炭,載金炭,炭泥,銀粉,銀泥,金泥,一切煉金,煉銀,煉鉑,鈀銠的廢渣廢料等。
電鍍廠:金鹽,銀鹽,金水,鈀水,氯化鈀,金銀廢水等廢料;
電子廠:電子廠回收:半導(dǎo)體藍(lán)膜,半導(dǎo)體鍍金硅片、鍍銀瓷片、壓敏電阻、薄膜開關(guān),廢冷光片,背光源,廢銀漿、鈀漿、擦銀布、擦金布,銀漿罐、金漿罐、含鈀陶瓷片,含金陶瓷片,含銀的陶瓷片、銀焊條、銀焊絲、銀粉、導(dǎo)電銀膠,鍍金,鍍銀,鍍銠鍍鉑等廢料。
首飾廠:拋光打磨粉,地毯,洗手池等廢料;
印刷廠:印刷廢菲林、X光片、定影水;
化工石油廠:鈀,鉑,銠,釕催化劑等。