熱壓法:把銦粉末在高溫和高壓下壓制成型,能夠提高靶材的致密度和機械強度,同時有助于減少氣孔和其他缺陷。
冷等靜壓法:利用液壓介質(zhì)在室溫下對銦粉末施加均勻壓力使其成型,可制造出高密度和均勻性的靶材,但需要后續(xù)的燒結(jié)處理來提高其機械性能。
純化技術(shù)
區(qū)熔法:一種通過熔化和重新結(jié)晶來純化材料的方法,可有效去除銦中的雜質(zhì),提高其純度。
電解精煉:利用電化學(xué)反應(yīng)將銦從雜質(zhì)中分離出來。將銦材料作為陽極,置于電解液中,通過施加電流使銦離子在陰極上沉積,從而得到高純度的銦。
化學(xué)純化:利用化學(xué)反應(yīng)去除銦中的雜質(zhì),例如通過溶劑萃取和化學(xué)沉淀等方法,可有效分離和去除雜質(zhì),提高銦的純度。
科研與前沿技術(shù)
1. 量子計算與超導(dǎo)器件
探索應(yīng)用:銦薄膜作為超導(dǎo)材料(如 In-Nb 合金),用于量子比特器件的制備,利用其超導(dǎo)電性實現(xiàn)低損耗量子信號傳輸。
2. 柔性電子與可穿戴設(shè)備
技術(shù)方向:在柔性電路板(FPC)、電子皮膚中作為可拉伸導(dǎo)電薄膜,利用銦的高延展性滿足器件形變需求。
濺射氣體控制
氣體純度:使用高純氬氣(99.999% 以上),避免氧氣、水汽混入導(dǎo)致銦靶氧化(氧化銦導(dǎo)電性下降,易形成電弧放電)。
氣壓調(diào)節(jié):
直流濺射(DC):氣壓通常為 0.1~10 Pa,低氣壓下濺射速率高但薄膜致密度低;高氣壓下薄膜均勻性好但沉積速率慢。
射頻濺射(RF):適用于絕緣基底,氣壓可略高于直流濺射,需根據(jù)薄膜厚度要求動態(tài)調(diào)整。