半導體領域:純銦在半導體中用作薄膜層,銦靶材可用于制造高速電動機的軸承涂層,使?jié)櫥途鶆蚍植迹€可用于半導體器件的制造,如集成電路、芯片等。
先進封裝技術
應用:在芯片倒裝焊(Flip Chip)中作為焊料或熱界面材料,實現芯片與基板的電氣連接和熱傳導。
特點:低熔點(156.6℃)和高可靠性,適用于精密電子器件的低溫封裝。
精密制造與特殊材料領域
1. 高端軸承與涂層
用途:在航空發(fā)動機、精密機床的軸承表面濺射銦涂層,降低摩擦系數,提高潤滑性能和抗磨損能力。
場景:飛機渦輪軸承、光刻機精密運動部件等。
2. 低熔點合金與焊料
成分:銦與錫、鉛、鎵等金屬組成的共晶合金(如 In-Sn 合金,熔點約 118℃)。
應用:用于電子元件的低溫焊接、熱敏感器件的封裝,以及核工業(yè)中的熔斷保護裝置。
濺射氣體控制
氣體純度:使用高純氬氣(99.999% 以上),避免氧氣、水汽混入導致銦靶氧化(氧化銦導電性下降,易形成電弧放電)。
氣壓調節(jié):
直流濺射(DC):氣壓通常為 0.1~10 Pa,低氣壓下濺射速率高但薄膜致密度低;高氣壓下薄膜均勻性好但沉積速率慢。
射頻濺射(RF):適用于絕緣基底,氣壓可略高于直流濺射,需根據薄膜厚度要求動態(tài)調整。