熱壓法:把銦粉末在高溫和高壓下壓制成型,能夠提高靶材的致密度和機(jī)械強(qiáng)度,同時有助于減少氣孔和其他缺陷。
冷等靜壓法:利用液壓介質(zhì)在室溫下對銦粉末施加均勻壓力使其成型,可制造出高密度和均勻性的靶材,但需要后續(xù)的燒結(jié)處理來提高其機(jī)械性能。
半導(dǎo)體領(lǐng)域:純銦在半導(dǎo)體中用作薄膜層,銦靶材可用于制造高速電動機(jī)的軸承涂層,使?jié)櫥途鶆蚍植?,還可用于半導(dǎo)體器件的制造,如集成電路、芯片等。
顯示領(lǐng)域:廣泛應(yīng)用于液晶顯示器(LCD)、有機(jī)發(fā)光二極管顯示器(OLED)等顯示器件的制造,用于形成透明導(dǎo)電薄膜,提高顯示器的性能和質(zhì)量。
存儲環(huán)境控制
溫濕度:存儲于干燥、恒溫環(huán)境(溫度 15~25℃,濕度≤40% RH),避免銦靶吸潮氧化(銦在潮濕空氣中易生成 In?O?薄膜,影響濺射效率)。
防塵防潮:用鋁箔或真空袋密封包裝,存放于潔凈柜中,防止灰塵附著或與其他化學(xué)物質(zhì)接觸。