粉末冶金法:通過(guò)將銦粉末在高溫下壓制和燒結(jié)成型,可有效控制雜質(zhì)含量,能制造出形狀復(fù)雜的靶材,制得的靶材具有較高的致密度和均勻性。
熔煉法:將銦材料加熱至熔點(diǎn)以上,使其成為液態(tài),然后通過(guò)鑄?;蚱渌尚凸に囍圃彀胁?,該方法簡(jiǎn)單快捷,但控制純度和均勻性相對(duì)較難。
先進(jìn)封裝技術(shù)
應(yīng)用:在芯片倒裝焊(Flip Chip)中作為焊料或熱界面材料,實(shí)現(xiàn)芯片與基板的電氣連接和熱傳導(dǎo)。
特點(diǎn):低熔點(diǎn)(156.6℃)和高可靠性,適用于精密電子器件的低溫封裝。
. 光通信器件
應(yīng)用:在光纖連接器、光調(diào)制器中作為鍍膜材料,提升光學(xué)元件的信號(hào)傳輸效率和穩(wěn)定性。
場(chǎng)景:數(shù)據(jù)中心高速光模塊、5G 前傳網(wǎng)絡(luò)的光器件制造。
真空系統(tǒng)維護(hù)
腔體清潔:每次濺射后及時(shí)清理腔體內(nèi)壁及基片臺(tái)的銦沉積層(銦延展性強(qiáng),易粘附在腔體表面,長(zhǎng)期積累可能導(dǎo)致短路或影響真空度)。
可用棉簽蘸取乙醇擦拭,或用軟質(zhì)刮刀輕輕刮除(避免損傷腔體涂層)。
真空泵保養(yǎng):定期更換真空泵油(因銦蒸氣可能污染泵油,建議每 200 小時(shí)檢查一次),防止油液粘度升高影響抽氣效率。