熱壓法:把銦粉末在高溫和高壓下壓制成型,能夠提高靶材的致密度和機(jī)械強(qiáng)度,同時(shí)有助于減少氣孔和其他缺陷。
冷等靜壓法:利用液壓介質(zhì)在室溫下對(duì)銦粉末施加均勻壓力使其成型,可制造出高密度和均勻性的靶材,但需要后續(xù)的燒結(jié)處理來(lái)提高其機(jī)械性能。
平板顯示(LCD/OLED/Micro-LED)
核心用途:制備透明導(dǎo)電薄膜(如氧化銦錫,ITO),作為顯示面板的電極層和觸控層。
LCD:用于玻璃基板的 ITO 薄膜,實(shí)現(xiàn)像素電極的導(dǎo)電功能。
OLED/Micro-LED:作為柔性基板(如 PI 膜)的透明電極,滿(mǎn)足柔性顯示對(duì)材料延展性的要求。
市場(chǎng)占比:全球超過(guò) 70% 的銦靶材用于顯示面板生產(chǎn),是 LCD/OLED 產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵材料。
固態(tài)電池與儲(chǔ)能技術(shù)
前沿應(yīng)用:銦作為固態(tài)電解質(zhì)的界面改性材料,改善電極與電解質(zhì)的接觸阻抗,提升固態(tài)電池的循環(huán)壽命和性。
濺射氣體控制
氣體純度:使用高純氬氣(99.999% 以上),避免氧氣、水汽混入導(dǎo)致銦靶氧化(氧化銦導(dǎo)電性下降,易形成電弧放電)。
氣壓調(diào)節(jié):
直流濺射(DC):氣壓通常為 0.1~10 Pa,低氣壓下濺射速率高但薄膜致密度低;高氣壓下薄膜均勻性好但沉積速率慢。
射頻濺射(RF):適用于絕緣基底,氣壓可略高于直流濺射,需根據(jù)薄膜厚度要求動(dòng)態(tài)調(diào)整。