熱壓法:把銦粉末在高溫和高壓下壓制成型,能夠提高靶材的致密度和機械強度,同時有助于減少氣孔和其他缺陷。
冷等靜壓法:利用液壓介質(zhì)在室溫下對銦粉末施加均勻壓力使其成型,可制造出高密度和均勻性的靶材,但需要后續(xù)的燒結(jié)處理來提高其機械性能。
光學(xué)領(lǐng)域:用于制造反射率與銀鏡一樣高但不會褪色的鏡,還可用于制造其他光學(xué)器件,如濾光片、光通信器件等。
其他領(lǐng)域:可用于制造低熔點合金,如 24%銦和 76%鎵的合金在室溫下為液態(tài),此外,還可用于制造整流器、熱敏電阻和光電導(dǎo)體等電氣組件。
精密制造與特殊材料領(lǐng)域
1. 高端軸承與涂層
用途:在航空發(fā)動機、精密機床的軸承表面濺射銦涂層,降低摩擦系數(shù),提高潤滑性能和抗磨損能力。
場景:飛機渦輪軸承、光刻機精密運動部件等。
2. 低熔點合金與焊料
成分:銦與錫、鉛、鎵等金屬組成的共晶合金(如 In-Sn 合金,熔點約 118℃)。
應(yīng)用:用于電子元件的低溫焊接、熱敏感器件的封裝,以及核工業(yè)中的熔斷保護裝置。
真空系統(tǒng)維護
腔體清潔:每次濺射后及時清理腔體內(nèi)壁及基片臺的銦沉積層(銦延展性強,易粘附在腔體表面,長期積累可能導(dǎo)致短路或影響真空度)。
可用棉簽蘸取乙醇擦拭,或用軟質(zhì)刮刀輕輕刮除(避免損傷腔體涂層)。
真空泵保養(yǎng):定期更換真空泵油(因銦蒸氣可能污染泵油,建議每 200 小時檢查一次),防止油液粘度升高影響抽氣效率。