顯示領(lǐng)域:廣泛應(yīng)用于液晶顯示器(LCD)、有機發(fā)光二極管顯示器(OLED)等顯示器件的制造,用于形成透明導電薄膜,提高顯示器的性能和質(zhì)量。
安裝前預(yù)處理
表面清潔:
用無水乙醇或丙酮擦拭靶材表面,去除油污、指紋及氧化層(可用無塵布蘸取溶劑沿同一方向擦拭,避免來回摩擦)。
若靶材表面有輕微氧化,可用細砂紙(800~1200 目)輕輕打磨,再用去離子水沖洗并干燥。
靶材檢查:
確認靶材無裂紋、孔洞或脫落(銦質(zhì)地軟,運輸或安裝時易磕碰損傷)。
檢查靶材與靶架的適配性(如尺寸公差、導電性接觸點),確保安裝牢固。
濺射時間與沉積厚度
厚度監(jiān)控:使用石英晶體微天平(QCM)實時監(jiān)測薄膜沉積速率,結(jié)合靶材消耗速率(約 0.1~0.5 μm/min,與功率相關(guān)),控制濺射時間。
靶材利用率:避免過度濺射導致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 時需及時更換),通常平面靶材利用率約 30%~40%,旋轉(zhuǎn)靶可提升至 60% 以上。
真空系統(tǒng)維護
腔體清潔:每次濺射后及時清理腔體內(nèi)壁及基片臺的銦沉積層(銦延展性強,易粘附在腔體表面,長期積累可能導致短路或影響真空度)。
可用棉簽蘸取乙醇擦拭,或用軟質(zhì)刮刀輕輕刮除(避免損傷腔體涂層)。
真空泵保養(yǎng):定期更換真空泵油(因銦蒸氣可能污染泵油,建議每 200 小時檢查一次),防止油液粘度升高影響抽氣效率。