粉末冶金法:通過將銦粉末在高溫下壓制和燒結成型,可有效控制雜質含量,能制造出形狀復雜的靶材,制得的靶材具有較高的致密度和均勻性。
熔煉法:將銦材料加熱至熔點以上,使其成為液態(tài),然后通過鑄模或其他成型工藝制造靶材,該方法簡單快捷,但控制純度和均勻性相對較難。
光伏領域:在薄膜太陽能電池中,銦靶材可作為光吸收層形成用的濺射靶,如 Cu-In-Ga-Se 系(CIGS 系)薄膜太陽能電池,有助于提高太陽能電池的轉換效率。
化合物半導體器件
場景:用于制造銦鎵砷(InGaAs)、銦磷(InP)等化合物半導體芯片,廣泛應用于 5G 通信基站、雷達、光纖通信等高頻電子設備。
作用:提升器件的高頻性能和可靠性,是 5G 毫米波芯片的核心材料之一。
靶材回收與再利用
回收價值:報廢銦靶(含濺射過程中產(chǎn)生的碎屑、廢膜)可通過化學溶解(如鹽酸溶解)、電解精煉等工藝回收銦金屬(回收率可達 95% 以上),降低生產(chǎn)成本。
環(huán)保要求:回收過程中產(chǎn)生的廢水需處理至重金屬排放標準(如銦離子濃度≤0.1 mg/L),避免環(huán)境污染。