固態(tài)電池與儲(chǔ)能技術(shù)
前沿應(yīng)用:銦作為固態(tài)電解質(zhì)的界面改性材料,改善電極與電解質(zhì)的接觸阻抗,提升固態(tài)電池的循環(huán)壽命和性。
科研與前沿技術(shù)
1. 量子計(jì)算與超導(dǎo)器件
探索應(yīng)用:銦薄膜作為超導(dǎo)材料(如 In-Nb 合金),用于量子比特器件的制備,利用其超導(dǎo)電性實(shí)現(xiàn)低損耗量子信號(hào)傳輸。
2. 柔性電子與可穿戴設(shè)備
技術(shù)方向:在柔性電路板(FPC)、電子皮膚中作為可拉伸導(dǎo)電薄膜,利用銦的高延展性滿足器件形變需求。
存儲(chǔ)環(huán)境控制
溫濕度:存儲(chǔ)于干燥、恒溫環(huán)境(溫度 15~25℃,濕度≤40% RH),避免銦靶吸潮氧化(銦在潮濕空氣中易生成 In?O?薄膜,影響濺射效率)。
防塵防潮:用鋁箔或真空袋密封包裝,存放于潔凈柜中,防止灰塵附著或與其他化學(xué)物質(zhì)接觸。
功率與溫度管理
濺射功率:
銦的濺射閾值較低(約 10 eV),起始功率不宜過(guò)高(建議從 50 W 逐步遞增),避免瞬間過(guò)熱導(dǎo)致靶材熔融或飛濺(銦熔點(diǎn)僅 156.6℃,過(guò)熱易造成靶材局部熔化,形成 “熔坑” 影響均勻性)。
直流濺射功率密度通常為 1~5 W/cm2,射頻濺射可適當(dāng)提高至 5~10 W/cm2。
靶材冷卻:
采用水冷靶架(水溫控制在 15~25℃),確保濺射過(guò)程中靶材溫度低于 80℃(高溫會(huì)導(dǎo)致銦原子擴(kuò)散加劇,影響薄膜結(jié)晶質(zhì)量)。
定期檢查冷卻水路是否通暢,避免因散熱不良導(dǎo)致靶材變形或脫靶。