先進封裝技術
應用:在芯片倒裝焊(Flip Chip)中作為焊料或熱界面材料,實現(xiàn)芯片與基板的電氣連接和熱傳導。
特點:低熔點(156.6℃)和高可靠性,適用于精密電子器件的低溫封裝。
平板顯示(LCD/OLED/Micro-LED)
核心用途:制備透明導電薄膜(如氧化銦錫,ITO),作為顯示面板的電極層和觸控層。
LCD:用于玻璃基板的 ITO 薄膜,實現(xiàn)像素電極的導電功能。
OLED/Micro-LED:作為柔性基板(如 PI 膜)的透明電極,滿足柔性顯示對材料延展性的要求。
市場占比:全球超過 70% 的銦靶材用于顯示面板生產(chǎn),是 LCD/OLED 產(chǎn)業(yè)鏈的關鍵材料。
科研與前沿技術
1. 量子計算與超導器件
探索應用:銦薄膜作為超導材料(如 In-Nb 合金),用于量子比特器件的制備,利用其超導電性實現(xiàn)低損耗量子信號傳輸。
2. 柔性電子與可穿戴設備
技術方向:在柔性電路板(FPC)、電子皮膚中作為可拉伸導電薄膜,利用銦的高延展性滿足器件形變需求。
濺射時間與沉積厚度
厚度監(jiān)控:使用石英晶體微天平(QCM)實時監(jiān)測薄膜沉積速率,結合靶材消耗速率(約 0.1~0.5 μm/min,與功率相關),控制濺射時間。
靶材利用率:避免過度濺射導致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 時需及時更換),通常平面靶材利用率約 30%~40%,旋轉靶可提升至 60% 以上。