超高密度成型:超高密度成型工藝(≥99.5%)可使靶材具有更好的性能,提高在真空濺射過(guò)程中的穩(wěn)定性和使用壽命。
晶粒定向控制:晶粒定向控制技術(shù)能夠控制銦靶的晶粒尺寸和方向,提升濺射薄膜的質(zhì)量和性能,滿足高端應(yīng)用領(lǐng)域的需求。
主要成分:通常由 90% 的氧化銦(In?O?)和 10% 的氧化錫(SnO?)組成,這一比例在實(shí)際應(yīng)用中能實(shí)現(xiàn)透明性和導(dǎo)電性的理想平衡。
外觀特性:在靶材形態(tài)下,顏色通常為淺黃色至淺綠色,而制成薄膜后則具有透明性。
良好的導(dǎo)電性:ITO 薄膜的電阻率可達(dá) 10??Ω?cm,具有較低的電阻和較高的載流子濃度,能夠有效地傳輸電流,滿足各種電子設(shè)備的導(dǎo)電需求。
純度分級(jí):
4N 精銦:純度≥99.99%,主要用于普通電子元器件及靶材原料。
5N-6N 精銦:純度≥99.999%-99.9999%,用于高端半導(dǎo)體、光電材料等領(lǐng)域。