半導(dǎo)體領(lǐng)域:占比 28%,用于晶圓制造的金屬互聯(lián)層與鈍化層沉積,在第三代半導(dǎo)體器件制造中的滲透率持續(xù)攀升,如氮化鎵功率器件就需要使用銦靶。
光伏產(chǎn)業(yè):占比 15%,應(yīng)用于薄膜太陽能電池的透明電極,如銅銦鎵硒(CIGS)薄膜電池、光伏異質(zhì)結(jié)電池(HJT)等,隨著這些電池技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程加速,對銦靶的需求也在不斷增加。
主要成分:通常由 90% 的氧化銦(In?O?)和 10% 的氧化錫(SnO?)組成,這一比例在實(shí)際應(yīng)用中能實(shí)現(xiàn)透明性和導(dǎo)電性的理想平衡。
外觀特性:在靶材形態(tài)下,顏色通常為淺黃色至淺綠色,而制成薄膜后則具有透明性。
熱等靜壓(HIP)工藝:在高溫和高壓環(huán)境下進(jìn)行燒結(jié),能夠顯著提高材料的致密度,減少材料中的孔隙,改善材料的微觀結(jié)構(gòu),使得 ITO 靶材具有更高的電導(dǎo)率和機(jī)械強(qiáng)度,但該工藝成本較為昂貴。