微觀結(jié)構(gòu):銦靶晶粒尺寸一般需維持在 10-50 微米區(qū)間,密度高于 7.31g/cm3,熱導(dǎo)率保持在 81.8W/(m?K) 以上,這些技術(shù)參數(shù)直接決定了其在真空濺射過程中的沉積效率和薄膜質(zhì)量。
顯示面板制造:是銦靶的應(yīng)用領(lǐng)域,約占總需求的 52%,主要用于液晶顯示器(LCD)與有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)的 ITO 透明導(dǎo)電膜制備,可使面板具有良好的導(dǎo)電性和透明性。
純度分級(jí):
4N 精銦:純度≥99.99%,主要用于普通電子元器件及靶材原料。
5N-6N 精銦:純度≥99.999%-99.9999%,用于高端半導(dǎo)體、光電材料等領(lǐng)域。
精銦的制備需經(jīng)過多步精煉,核心工藝包括:
原料預(yù)處理:以鋅冶煉副產(chǎn)物(如浸出渣、煙灰)或含銦廢料為原料,通過酸浸、萃取等方式初步分離銦。
電解精煉:將粗銦溶解為銦鹽溶液(如硫酸銦),通過電解沉積得到純度約 99.95% 的粗精銦。
深度提純:
真空蒸餾:在高真空條件下利用銦與雜質(zhì)的沸點(diǎn)差異(銦沸點(diǎn) 2080℃,雜質(zhì)如鋅沸點(diǎn) 907℃)去除低沸點(diǎn)雜質(zhì)。
區(qū)域熔煉:通過移動(dòng)加熱區(qū)使雜質(zhì)在固液界面重新分布,多次操作后可將純度提升至 6N 以上。
化學(xué)提純:利用萃取劑(如三丁基氧化膦)或離子交換樹脂進(jìn)一步去除微量金屬離子。